二手 KOKUSAI CX-5000 #293762973 待售

KOKUSAI CX-5000是为高性能薄膜沉积和退火能力而设计的扩散炉及附件包。它是一种多功能设备，具有出色的温度控制和精确度，以及易于使用的操作控制。该装置还为广泛的薄膜沉积和工艺应用提供了大量预先编程的温度。CX-5000由高性能薄膜沉积室和高温退火灭火室组成。薄膜沉积室设计用于将氧化物、氮化物和金属薄膜沉积在多种底物上。该室具有10-5torr的超高真空水平和节能的电热石英加热器和电阻加热器系统。它还有一个内置气体进气装置，用于在沉积过程中引入反应性气体。退火室设计用于较高温度的过程，通常高达1350℃。它提供了两速率加热过程，使温度上升和下降更清晰，同时具有极好的温度均匀性和可重复性。熄灭机还具有自动开盖器/关闭器和一系列预先编程的冷却时间。KOKUSAI CX-5000还具有全套附件,包括负载锁、过程控制器和气体进料系统。载荷锁的设计允许在腔室之间快速更换基板。这样可以减少采样时间,使操作员能够快速切换采样并减少处理时间。工艺控制器的设计是为工艺提供精确的温度和时间控制。这使操作员能够轻松编程和监控温度上升速率、沉积时间和退火时间等过程变量。此外,CX-5000还包括多种安全功能,以确保操作员的安全。例如，安全电路包括一个过温截止开关和过电过压报警器。而且，该部队还配备了几个安全联锁装置，以防止意外失控的过程。总体而言，KOKUSAI CX-5000是一种可靠、坚固的扩散炉和退火室，具有执行各种薄膜沉积和退火工艺的灵活性。