二手 KOKUSAI CX-5000 #293762977 待售

KOKUSAI CX-5000扩散炉是一种先进的精密仪器，旨在实现高性能半导体制造中各种扩散过程的精确控制和自动化。它具有全自动粉末填充和集成的CVD腔室.这种单室炉的建造是为了提供更精确的温度控制和均匀的加工。CX-5000具有可调高温区和先进的强制空气冷却装置，以安全去除粉末。加工的优化温度范围约为815 °C-1150 °C，可以调整以提供精确的基板温度。KOKUSAI CX-5000设计有多种控件和设置,以适应针对特殊处理要求的精确设置。从外部计算机接收命令,CX-5000带有自动化启用的多步骤程序（MS模式）以及其他可预编程的流程选项。KOKUSAI CX-5000还带有精确的石英热传感器和通过PID控制的自动自校正功能，允许稳定和精确的温度控制。该炉包括多区能力，即使使用大型基板也能提供精确的均匀性。CX-5000还有一个活化气体压力控制系统，保证可靠和安全的过程和结果。可以通过以太网连接远程检查各种炉的温度控制，提供软件支持和集成服务。KOKUSAI CX-5000还配备了高性能过滤系统和高级报警互锁功能。CX-5000扩散炉是一个先进可靠的系统,提供精确、均匀的扩散处理.其高温和自动化能力非常适合各种高性能半导体制造和加工应用。