二手 KOKUSAI CX-5000 #293762978 待售
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ID: 293762978
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN -DF
Process: SI3N4
Main controller: KDSC
Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase
2008 vintage.
KOKUSAI CX-5000是一种用于各种基板精确热控制的扩散炉及辅助设备。CX-5000的工作原理是驱动高精度加热器、气体喷射源和冷却风扇,始终如一地创造最佳的热环境,以鼓励元素在基板内扩散。KOKUSAI CX-5000采用铅块和陶瓷纤维加热热区。CX-5000升级后的双端供暖系统能够达到高达1300摄氏度的温度,同时保持± 5摄氏度的温度均匀性。KOKUSAI CX-5000设计用于处理尺寸不超过400mm的大型基板,以及尺寸不超过25mm的小型基板。CX-5000提供了一个自动化的机构冷却装置,以准确控制冷却速度,最大产量的产品。在气体喷射扩散应用方面,KOKUSAI CX-5000采用先进的TotalFlow II自动气体喷射机。使用TotalFlow II,用户可以从机器的前面板调节气体浓度。此外,TotalFlow II工具允许精确控制流量速率-从0.001Slm到0.0005Slm。CX-5000还提供了高度智能化的多通道PID温度控制资产,确保了整个热区的最佳均匀热分布。KOKUSAI CX-5000的设计考虑到安全性,这要归功于其传感器和功能的全面模型,包括"气体泄漏传感器"、"安全警报"和"温度过高警报"。此外,由于其功能丰富的可编程用户信息安全设备,可以确保用户安全使用CX-5000。总体而言,KOKUSAI CX-5000是要求苛刻的样品和最先进的研发应用的理想选择。CX-5000具有卓越的精度和性能,在生产中提供了无与伦比的可靠性,非常适合所有扩散应用。
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