二手 KOKUSAI CX-5000 #293762979 待售

KOKUSAI CX-5000是一种用途广泛、高效的扩散炉，用于与制造半导体器件有关的广泛应用，包括热氧化、退火和扩散过程。它最多可以支撑包括各种晶片、SOI和玻璃基板在内的三维基板。该炉的制造具有柔韧性和优异的工艺性能.它兼具快速热氧化（RTO）和快速热退火（RTA）。RTO允许晶片表面层氧化，而RTA能够退火热易碎的基板。这两种工艺在基板温度和工件温度上均具有很好的均匀性。CX-5000采用三室/双区设计。这为单个组件提供了单独的温度区域以及最佳控制。采用先进的气流模型来保证进入反应室的气体的均匀性和均匀性。这三个腔室被安置在一个气密的外壳中，能够保持正压并确保高纯度的加工气体。温度控制设备由伺服驱动的机构组成，该机构拥有一系列传感器，用于测量和控制温度、压力和氧气浓度等参数。KOKUSAI CX-5000有各种各样的附件,包括预热区（PHZ）模块、配置文件监控模块、多自旋模块和高级排气系统。预热区是确保加工室内温度分布均匀所必需的。型材监测仪用于测量氧化和扩散过程中的温度型材。多自旋模块允许使用多个晶圆对腔室进行更高的负载。先进的排气系统设计为在腔室大气和排气流中保持高度纯度。先进的CX-5000控制系统对温度、压力、氧气浓度等关键参数提供精确可靠的控制，确保了优越、可重复的工艺效果。它可以与计算机连接,以便远程控制进程并进行远程数据收集。该单元还包括温度超调检测和压力控制等安全功能。总体而言，KOKUSAI CX-5000是一种先进高效的扩散炉，具有良好的均匀性和工艺可靠性。它采用了广泛的配件，为各种扩散过程提供了一个真正通用和优越的机器。此外，CX-5000扩散炉设计方便操作和维护。它易于校准和调试,其模块化设计确保维护简单明了。该设计还可以方便地升级硬件组件或根据需要添加其他功能。