二手 KOKUSAI CX-5000 #293762985 待售

KOKUSAI CX-5000是为高效处理集成电路和薄膜设备而设计的扩散炉及辅助设备。该系统具有高温、快速加热和冷却的特性,非常适合制造高质量、可靠的设备。CX-5000扩散炉设计用于在0至1,400°C的宽温度范围内提供均匀的温度控制。顶部加载装载机可以方便地插入和移除基板。装载机的最大基板尺寸为4英寸,热循环时间为1-5000秒。加热器的温度设定点精度±为2°C。KOKUSAI CX-5000扩散炉配备了温度控制器和高效PID控制算法。该装置有助于在退火和扩散过程中保持精确的温度管理。机器还提供自动关机和过温保护,以防止损坏组件。CX-5000扩散炉由120V或220V单相电源连接供电。这种可靠的电源连接允许长时间连续运行。漏电不足两毫安培，使得操作连接到同一条电源线的多个系统非常安全。KOKUSAI CX-5000的功率效率额定值大于70%。CX-5000扩散炉工具还包括许多附件，如自动装卸机构、热墙外壳和保形冷却功能，有助于减少温度突然变化引起的热冲击。资产还具有集成气体分配模型，允许精确的气体输送到工艺室。KOKUSAI CX-5000扩散炉采用耐用材料建造，保证了可靠的性能和多用途。该设备设计用于高温退火和扩散应用，非常适合半导体器件制造。此外，CX-5000扩散炉系统可用于研发活动，如退火薄膜装置或测试新产品样品。