二手 KOKUSAI CX-5000 #293762987 待售
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ID: 293762987
晶圆大小: 12"
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN -DF
Process: SI3N4
Main controller: KDSC
Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase.
KOKUSAI CX-5000是为半导体材料的精确热处理量身定制的最先进的扩散炉设备。这款高性能工具旨在满足半导体制造、研发应用的苛刻要求。凭借其先进的功能和卓越的性能能力,CX-5000可促进可靠和可重复的热处理,以满足各种材料和工艺需求。KOKUSAI CX-5000的炉膛设计适合各种尺寸的基材,使其用途广泛,适应不同的加工要求。该系统配有精确的温度控制机制,确保整个基板表面的加热和冷却均匀。这种均匀性对于在半导体加工中取得一致和高质量的结果至关重要。CX-5000具有坚固的气体输送装置,能够精确控制炉膛内的工艺气氛。该机器能够以高精度和可重复性提供各种工艺气体,允许用户根据其应用程序的具体要求定制工艺环境。这种灵活性使得KOKUSAI CX-5000适合广泛的过程,如氧化、扩散和退火。CX-5000的主要优势之一是其先进的过程监测和控制能力。该工具配备了先进的控制资产,允许用户实时监控和调整关键流程参数。这种控制水平确保了热过程的精确执行,并使用户能够始终如一地实现期望的结果。此外,KOKUSAI CX-5000还配备了全面的安全功能,以保护模型和操作过程中的操作员。CX-5000设计为高度可靠且易于维护,可最大程度地减少停机时间并确保持续运行。设备由高质量的材料和部件构成,这些材料和组件经过长期耐用和性能设计。日常维护任务简单明了,可以高效执行,使用户能够以最小的工作量将系统保持在最佳状态。除了炉膛外,KOKUSAI CX-5000还配备了一系列配件和可选功能,进一步提高了其性能和多功能性。这些附件可能包括高级晶圆处理系统、附加气体输送选项以及针对特定应用量身定制的工艺配方。通过使用这些配件定制设备,用户可以针对其独特的处理需求优化CX-5000。总体而言,KOKUSAI CX-5000是一种前沿的扩散炉机器,为半导体加工应用提供卓越的性能、可靠性和灵活性。凭借其先进的特性和功能,CX-5000非常适合在研发环境和大批量制造环境中使用。无论是加工硅片、复合半导体还是其他材料,KOKUSAI CX-5000都为实现精确、可重复的热处理结果提供了一个强大、通用的平台。
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