二手 KOKUSAI CX-5000 #293762988 待售

KOKUSAI CX-5000
製造商
KOKUSAI
模型
CX-5000
ID: 293762988
晶圆大小: 12"
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: SI3N4 Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase.
KOKUSAI CX-5000是为半导体制造工艺设计的最先进的扩散炉及配套配件。该设备以精密、高效、可靠着称,是大批量生产设施和研究实验室的首选。CX-5000系统的核心是扩散炉,它是半导体晶片掺杂的关键部件。该炉结构坚固,并配有先进的加热元件,以确保整个工艺室的温度分布均匀一致。这对于实现精确的掺杂剖面和保持高水平的晶片到晶片的可重复性至关重要。KOKUSAI CX-5000提供了广泛的工艺能力,使其适合半导体行业的各种应用。它支持多种掺杂技术,包括砷(As)、磷(P)、硼(B),以适应不同的器件要求和制造工艺。该装置还允许控制退火和氧化步骤,以进一步提高制造装置的性能和可靠性。除了扩散炉外,CX-5000还配备了一系列配件,以方便高效和精简的生产工作流程。这包括一台综合气体输送机,能够在扩散过程中精确控制掺杂气体和载气。该工具还具有先进的自动化界面,可实现远程监控、最小化停机时间和优化生产效率。KOKUSAI CX-5000采用用户友好的界面和直观的软件进行设计,以确保易于操作和与现有制造工艺的无缝集成。该资产具有高度的灵活性,允许用户自定义流程参数和配方以满足特定要求并优化设备性能。这种灵活性对于满足半导体行业不断变化的需求以及在快速变化的市场中保持竞争力至关重要。CX-5000模型的一个关键优点是其在吞吐量和产量方面的优越性能。该设备能够同时处理大量晶片,减少循环时间,提高产能。此外,系统的高级过程控制功能有助于最大限度地减少掺杂剂浓度和分布的变化,从而提高产量并提高设备性能。KOKUSAI CX-5000的设计也考虑到了可扩展性,允许用户随着制造需求的增长轻松扩展其生产能力。该单元可以配置多个工艺室和附件,以适应不同的晶圆尺寸和生产量。这种可扩展性确保用户能够适应不断变化的市场需求,并保持半导体行业的竞争优势。总体而言,CX-5000扩散炉及其附件为半导体晶圆加工提供了全面的解决方桉,提供了卓越的性能、可靠性和效率。KOKUSAI CX-5000凭借其先进的功能、灵活的设计和用户友好的界面,成为寻求实现高质量设备制造和驱动行业创新的半导体制造商的宝贵工具。
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