二手 KOKUSAI CX-5000 #293763031 待售

KOKUSAI CX-5000
製造商
KOKUSAI
模型
CX-5000
ID: 293763031
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1236VN -DF Process: ALD Power supply: 120 V, Single phase / 480 V, 3 Phase 2015 vintage.
KOKUSAI CX-5000是一种高度先进的扩散炉设备,设计用于在制造集成电路和其他电子器件时对半导体材料进行精确高效的热处理。此通用系统配备了一系列创新功能和附件,使其能够在各种应用程序中提供卓越的性能、可靠性和灵活性。CX-5000单元的核心是其高性能炉膛,其设计目的是为半导体晶片提供均匀和受控的加热至高达1200 °C的温度。该炉室由优质材料构成,具有优良的热性能,可确保晶圆表面的最大传热效率和温度均匀性。炉子设有多个加热区和气体注入口,使晶圆处理步骤中的温度精密剖析和控制成为可能。为便于扩散过程,KOKUSAI CX-5000机配备了先进的气体输送和溷合系统,可以精确控制炉膛内的环境气体气氛。这确保了半导体材料在最佳温度和气体成分下进行所需的化学反应和扩散过程,从而获得最佳性能和产率。该工具还能够处理各种工艺气体,如氧气、氮气、氢气和掺杂气体,这取决于半导体加工步骤的具体要求。除了其核心炉膛外,CX-5000资产还配备了一系列创新的配件和功能,以增强其功能和性能。其中包括一个先进的过程控制模型,它具有先进的软件算法,能够对热处理步骤进行精确的编程和监测。设备还设有全面的安全联锁系统和报警装置,确保操作员和设备在运行过程中得到保护。KOKUSAI CX-5000单元还提供高水平的自动化和集成能力,允许与其他半导体制造设备和工艺控制系统实现无缝连接。这使机器能够在完全自动化的生产环境中运行,从而确保在大批量制造应用程序中的最大吞吐量和效率。该工具还配备了易于操作和维护的用户友好界面,使操作员能够以最少的培训和精力快速设置和运行复杂的流程配方。总体而言,CX-5000扩散炉资产是先进半导体制造工艺中用于半导体材料热处理的最先进的解决方桉。凭借其高性能的炉膛、先进的气体输送系统以及创新的特性和配件,该型号为半导体行业的广泛应用提供了无与伦比的性能、可靠性和灵活性。无论是用于扩散、氧化、退火还是其他热处理步骤,KOKUSAI CX-5000设备都能提供卓越的效果,确保半导体生产的最高质量和产量。
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