二手 KOKUSAI CX-5000 #293763032 待售

KOKUSAI CX-5000
製造商
KOKUSAI
模型
CX-5000
ID: 293763032
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1236VN -DF Process: ALD Power supply: 120 V, Single phase / 480 V, 3 Phase 2015 vintage.
KOKUSAI CX-5000是一种先进的扩散炉,专为半导体工业的大批量制造工艺而设计。这一尖端设备提供对热处理条件的精确控制,达到统一可靠的效果,非常适合大型生产设施。CX-5000扩散炉设有多个加热区和气体喷射口,可在扩散过程中进行精确的温度控制和气流管理。这使炉子能够满足各种热处理要求,包括氧化、扩散和退火等。KOKUSAI CX-5000的主要特点之一是其坚固的结构和先进的热管理设备。炉膛采用高纯度石英材料制成,在运行过程中保证了良好的热稳定性和均匀性。温度控制系统由多个热电偶和PID控制器组成,能够实时监测和调整工艺参数,以获得最佳性能。除了先进的加热和温度控制能力外,CX-5000扩散炉还配备了精密的气体输送装置。该机包括用于精确调节气体流量和浓度的质量流量控制器,以及用于确保工艺气体纯度的气体净化器。这些元件的集成允许高度精确和可重复的扩散过程,从而产生高质量的半导体器件。此外,KOKUSAI CX-5000还设计了易于操作和维护的用户友好功能。炉子配有直观的图形用户界面(GUI),使操作员能够轻松编程和监控工艺参数。还提供了自动化的序列和配方管理功能,使用户能够以最少的人工干预来有效地执行复杂的处理例程。CX-5000扩散炉与各种晶圆尺寸兼容,从小型基材到大型300 mm晶圆,使其成为各种半导体制造应用的通用解决方桉。该炉可适应单片加工以及批量加工模式,提供了满足不同生产要求的灵活性。总体而言,KOKUSAI CX-5000扩散炉是一种最先进的设备,为大容量半导体制造提供卓越的性能和可靠性。其先进的特性、精确的控制能力和用户友好的设计使其成为寻求在生产环境中实现一致和高质量处理结果的半导体公司的宝贵资产。
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