二手 KOKUSAI CX-5000 #293763035 待售
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ID: 293763035
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN -DF
Process: POLY
Power supply: 208 V, Single phase / 480 V, 3 Phase
2006 vintage.
KOKUSAI CX-5000是为半导体工业中的高温高压工艺应用而设计的最先进的扩散炉设备。这个先进的系统具有尖端的技术和创新的设计,使它成为一个多用途和可靠的工具,以生产高质量的晶圆精度和一致性。主要功能和优势:1.先进的加热装置:CX-5000配有高性能加热机,可精确控制晶圆表面的温度均匀性。这样可以确保晶片的高效和一致的处理,从而获得高质量的设备性能。2.精密气流控制:该工具具有精密的气流控制机制,能够对气体流量和溷合物进行精确的操作。这样可以精确控制晶片中的掺杂浓度和分布,从而获得最佳的器件性能。3.高压能力:KOKUSAI CX-5000能够在高压下运行,适用于需要升高压力条件的各种扩散过程。此功能允许自定义流程参数以满足特定的应用程序要求。4.用户友好界面:该资产配备了直观的用户界面,可以方便地编程流程配方和实时监控流程参数。这种用户友好的设计提高了工作效率,最大程度地减少了操作员的错误,确保了一致和可靠的结果。5.柔性晶片处理:CX-5000的设计可容纳各种晶片尺寸,从小直径到大直径不等。这种灵活性允许在一次运行中处理多种晶圆类型,从而最大限度地提高吞吐量和效率。6.增强的安全功能:该型号配备了先进的安全功能,以确保操作员的安全并保护设备免受潜在危害。这些功能包括气体泄漏检测系统、紧急关机机制和联锁系统,以防止未经授权进入。7.远程监视和控制:KOKUSAI CX-5000可以无缝集成到远程监视设备中,从而可以从集中位置实时监视和控制流程。此功能可实现远程故障排除和维护,减少停机时间并提高整体系统效率。8.节能设计:CX-5000的设计考虑到能源效率,利用先进的绝缘材料和加热元件最大限度地减少能耗。这不仅降低了运营成本,而且有助于更可持续的制造过程。除了核心扩散炉单元外,KOKUSAI CX-5000还可以配备一系列配件和升级,以增强其能力和灵活性。这些附件可能包括晶片装卸系统、过程气体输送系统、温度分析工具和数据记录软件。总体而言,CX-5000扩散炉是半导体工业中高温高压扩散过程的前沿解决方桉。KOKUSAI CX-5000具有先进的功能、用户友好的界面和可定制的选项,是为各种半导体应用生产具有精确掺杂轮廓的高质量晶片的可靠高效工具。
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