二手 KOKUSAI CX3000 #9291189 待售

KOKUSAI CX3000是一种先进的扩散炉及附件，专门设计用于处理半导体。适合电力装置材料、薄膜沉积、钝化层沉积、金属化、氧化、退火、掺杂等多种特殊工艺应用。KOKUSAI CX-3000提供无与伦比的扩散速度和均匀性，因为它的高性能对外部线性区域加热器，允许高生产率和均匀性。CX3000有两个独立的加热单元，分四级，每个单元最多三个区域，总热区长度约50毫米。CX-3000还有一个计算机化的过程控制系统，可以精确控制时间、温度和气流。先进的KOKUSAI CX3000具有多层扩散室壁，为快速、均匀的传热和温和的温度倾斜提供了出色的隔热性能，这对于保护细腻的基板至关重要。KOKUSAI CX-3000还采用了一种创新的晶圆提升系统,该系统通过自动加载程序简化晶圆加载,并通过手动加载实现灵活性。CX3000设计具有最大的安全性和性能,具有过热保护、排气自动停止和安全阀以及全闭环热控制功能。该炉还具有先进的温度测量和工艺控制系统，确保了安全和可重复的渗碳效果。CX-3000极其安静，噪声水平小于68 dB，可达到高达2,000 °C的温度。这使得它非常适合处理各种材料，从低k电介质到多Si发射极材料。由于其低排放和无尘沉积，也适合在洁净室环境中运行。总之，KOKUSAI CX3000是一个强大的扩散炉和附件，旨在提供最高质量的性能，安全性和可靠性。适用于从动力装置材料到薄膜沉积等多种应用。先进的热控系统和多级加热装置使其成为均匀渗碳退火工艺的理想选择，具有高速度和重复性。