二手 KOKUSAI CX3000 #9291191 待售

KOKUSAI CX3000是为促进先进半导体器件的发展而设计的扩散炉设备。它是一种温度在20-1470摄氏度之间的多区炉，适用于外延、氧化、掺杂活化、氧化等多种半导体应用。该系统由一个基座单元、一个真空室以及包括排气单元、电源和石墨敏感器在内的多个附件组成。KOKUSAI CX-3000具有高温陶瓷隔热机和先进的温度控制和调节控制工具。金属合金敏感器采用高频感应加热元件加热，以最小的源降解提供快速均匀的加热。该资产还能够在磁感器表面提供正温度，从而实现均匀的温度分布和对温度剖面的精确控制。高温双区工艺室能够精确控制温度区和均匀的热梯度。它采用石英窗和交叉耦合设计，以确保整个腔室的均匀性。CX3000还有一个低温敏感器、专门为低温工艺设计的石墨敏感器和一个蚀刻站。CX-3000模型几乎在设计的各个方面都具有很大的灵活性。它采用用户友好的开放式体系结构平台进行设计,以方便地配置设备以满足特定的流程需求。它还采用模块化组件设计进行设计,为客户提供根据其特定需求定制系统的灵活性。总之，KOKUSAI CX3000是一种适用于各种半导体应用的先进扩散炉装置。它具有精确的温度控制能力，允许最佳的热梯度和出色的均匀性。它的模块化元件设计和用户友好界面还允许一台高度可定制和灵活的机器,该机器可以定制以满足几乎所有制造过程的需求。