二手 KOKUSAI CX3000 #9291199 待售

KOKUSAI CX3000是一种扩散炉，旨在在一系列半导体过程中优化基板的掺杂或键合。作为热扩散炉，KOKUSAI CX-3000具有单区加热室和可用于硅或复合半导体器件的热区。这两个区对温度和大气提供精确可靠的控制，以容纳不同的材料，用于薄膜的沉积、晶片的变薄或粘合以及其他重要的过程。炉子的外部尺寸为L1400xW700xH1715mm，而内部尺寸L1,100mm x W600mm x H1430mm。由石英或其他材料制成，温度范围200-1020 °C，分辨率± 2°C。CX3000炉也可以达到1,160°C的最高温度以进行快速退火。温度也可以被编程为接受多种热条。CX-3000炉有一个可调的底座和一个可更换的顶盖板，这两者可以配置为适合大多数操作。此外，它还配备了各种可选配件，如空气滑梯、电动门、不同位置的加热器和鼓风机。它还具有强大的电机驱动鼓风机，有助于更快地加热和冷却内室。KOKUSAI CX3000炉配备了PID自动调谐系统等防傻瓜控制系统，有助于在整个扩散过程中保持温度恒定。这样可以防止由于突然的温度变化而浪费时间和材料。炉子的燃气单元和水冷电磁阀控制气体的进出流量，有助于实现腔内室外的最高均匀性。该系统还具有嵌入式软件和硬件,可确保操作过程中的干扰最小。KOKUSAI CX-3000扩散炉采用最新的下一代石英晶体技术，可用于离子注入、氧化、退火和再生掺杂等多种工艺。该炉适用于规模较小的生产以及更先进、更复杂的光伏和微电子生产。适合于硅、砷、磷、氮化物半导体等多种不同的材料。