二手 KOKUSAI CX3000 #9291201 待售

KOKUSAI CX3000
製造商
KOKUSAI
模型
CX3000
ID: 9291201
晶圆大小: 12"
Furnaces, 12" P/N:DJ-1206V -DF Process: SI3N4.
KOKUSAI CX3000是一个尖端的扩散炉和附件套件,有助于工业过程的高效操作涉及加热和退火。KOKUSAI CX-3000采用了多种业界领先的技术和组件,包括紧凑的多功能设计,可降低能耗和运营成本。CX3000油井采用坚固SUS431不锈钢结构,可配置7区控制,以实现更高精度的扩散。CX-3000还设有一个宽大开口的真空门,以便进行更大的基板加工。门可以手动操作或机动,以提供快速和方便的访问。此外,KOKUSAI CX3000还有一个可选的自动装罐系统,可装载更大、更重的基板,而内部则采用耐镍高温钢,性能更长。KOKUSAI CX-3000具有自动化的质量流量控制器,可实现精确高效的气流控制。控制器可以被编程为调整气体流量水平,以改进质量流量控制,包括警告和维护警报,以使操作更加顺畅。它采用Ni-Cr-Al合金制造,最多可支持五种不同的气体供给,用于更广泛的操作。此外,CX3000还包括一个专门的高功率密度碳化硅(SiC)加热元件。与传统的加热元件相比,这种新型加热元件具有更好的温度均匀性和完全的可靠性,因为它使用高效、低能量的碳化硅代替传统的Mgo芯。坚固的SiC加热元件还提供了出色的隔热和电绝缘,良好的导热性,以及可根据所需应用调节的额定功率。为确保均匀温度和退火过程,CX-3000还包括一个风扇,用于在整个腔室中均匀分布温度。高效风扇利用电机控制的三向通风系统改善循环,并具有保护设置以确保安全运行。此外,KOKUSAI CX3000包括一个电源和温度监视器,用于实时读取腔室的温度和设置,同时在腔室中还包括一个热电偶,以提高安全性。总体而言,KOKUSAI CX-3000扩散炉和附件套件为高效的工业加热和退火过程提供了一个高性能的系统。从它的小巧尺寸,到它的多功能设计和高效、低能耗的部件,CX3000是一个强大而可靠的解决工业操作涉及加热和退火。
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