二手 KOKUSAI DD-802 #9181772 待售

KOKUSAI DD-802
製造商
KOKUSAI
模型
DD-802
ID: 9181772
晶圆大小: 6"
Furnace, 6".
KOKUSAI DD-802扩散炉是金属和其他基材高质量扩散加工的通用可靠设备。它以两管式设计为特色,主体与连接的工作室,并为广泛的工序而设计。该炉有一个集成的过程控制系统,能够精确的温度控制均匀扩散基板。温度范围高达1400 °C,最大进气流量达每分钟400立方厘米。DD-802包括一整套可配置为满足每个应用程序特定要求的扩散附件。这包括溅射沉积工具,它允许控制目标材料沉积到基板上。氧化沉积装置(ODS)提供均匀的氧化物生长,是挥发性物质的理想选择。Advanced Gas Deposition Machine(AGDS)为多种基材增加了一层气相沉积。多颗粒沉积工具(MPDS)与AGDS协同工作,为均匀、高度受控的薄膜前体沉积多层组合。KOKUSAI DD-802具有集成的电气资产,可保护基板并防止电气事故。这是通过炉子本身进一步启用的,炉子本身提供了高水平的屏蔽辐射防护,以确保安全的操作环境。DD-802具有多级安全模型,可为所有组件和进程提供可靠的安全性。它具有兼容的软件,允许用户跟踪所有流程和结果,还具有实时温度配置文件查看器来监控流程推进。最后,KOKUSAI DD-802旨在在各种环境中运行时提供最大的便利。它有一个符合人体工程学的设计,将长时间站立的疲劳降至最低,同时还有一个快速冷却周期的集成冷却设备。这确保了在任何工作环境中都能保持一致和高效的绩效。
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