二手 KOKUSAI DD-802V #9068939 待售

KOKUSAI DD-802V
製造商
KOKUSAI
模型
DD-802V
ID: 9068939
晶圆大小: 6"
Diffusion furnaces, 6".
KOKUSAI DD-802V扩散炉是一种高度专业化的热处理设备,用于将杂质扩散到基材中以改变其复合材料、电阻和/或光学能力。DD-802V非常适合需要快速、精确和可重复的扩散处理的生产线。该系统由一个电阻加热的真空室、一个内置的燃气单元和涡轮分子真空泵装置以及一个计算机控制的用户界面组成。KOKUSAI DD-802V的真空室由不锈钢制成,气密,防止加工过程中所含介质受到污染。该机组配备了用于精确温度控制和快速温度坡道的高精度温度控制器,从而提高了质量,缩短了周期时间。腔室最高温度为2000°摄氏度,使用高精度电阻加热技术可精确控制至± 2°摄氏度。集成气机由氮气罐、质量流量控制器和高精度阀门组成,这些阀门被编程为检测和自我调节进入的气流。气体工具允许精确的气流控制,允许准确和可重复的过程结果,而无需任何杂质的额外预散。DD-802V还具有涡轮分子真空泵装置,允许真空水平低至1x10^-2 Pa,以及冷藏装置,以消除真空室中的颗粒物和其他空气污染物。这确保了模型在最佳水平下工作,并且没有任何外来粒子可以进入扩散室并污染结果。KOKUSAI DD-802V利用PC或PLC控制的用户界面进行设置、操作和监控。所有参数都是用户定义的,并存储在PC或PLC上,从而提高了可重复性,并为不同的流程提供了无限数量的配方。设备还有一个紧急停止按钮,以及过热的报警蜂鸣器,以及在紧急情况下可以快速冷却腔室的紧急冷却系统。总之,DD-802V扩散炉是一种先进而可靠的高精度温度控制和低可控真空水平的精确再现的方法。其用户友好的计算机和PLC控制的用户界面使操作变得容易,同时其气体单元和应急安全功能确保了结果保持一致和可靠。
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