二手 KOKUSAI DD-803V-H #9248596 待售

KOKUSAI DD-803V-H
ID: 9248596
晶圆大小: 8"
Vertical diffusion furnaces, 8" Process: WET-OX.
KOKUSAI DD-803V-H是一种扩散炉及配件,设计用于在半导体、MEMS和其他薄膜生产领域等多种相关市场提供晶圆加工的先进能力。它特别设计用于半导体制造过程,最新的低压技术使它能够支持生产更锐利的线路和电路,以获得最佳性能。这种扩散炉由坚固的不锈钢材料制成,三重加热器组件由3个电加热器组成,总额定功率为220v、15A、60Hz单相源产生的36kW。加热元件通过温度范围为8°C至800°C的PID温度控制器控制。该炉还具有一个大的工作空间,可以容纳8个6英寸晶圆和4个8英寸晶圆,总尺寸为350 x 350 x 550毫米。DD-803V-H配备了确保高质量结果和最大运行性能的功能。开发了一种带有喷嘴的排气设备,能够清除有毒、爆炸性和有害的蒸气,如氢氟酸、硼、氯、氮和乙炔气体。它还通过进气过滤器阻止气体污染。这使得设备可以在避免化学损伤晶片的同时进行均匀扩散。KOKUSAI DD-803V-H还装有温度均匀性监视器。这是专门为测量、控制和调整内炉温度而设计的,以保证温度的均匀性,从而保证过程的高质量。此外,它还具有集成真空系统,可达到最大真空度的7X10-2 Torr。DD-803V-H设计具有较高的安全措施,包括一个温度安全控制单元,它可以防止过热与过热保护机器。此外,它还安装了一个紧急停止按钮,可确保设备运行时的安全。KOKUSAI DD-803V-H代表了半导体和薄膜生产工艺的高度产品创新和可靠性。它是一个全面、高效的解决方桉,可长期节省大量成本,从而确保您的项目按时完成并获得高质量的结果。
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