二手 KOKUSAI DD-803V #293589150 待售

KOKUSAI DD-803V是一个用于处理大型半导体工艺的扩散炉及附件包。配备桥式立式升降机，高效加热设备，集成冷却系统，工艺性能最佳。专有的垂直升降机提供快速的水平方向变化和高灵活性的日常操作。炉单元设有三个不同的区域，每个区域可处理多达6英寸的基板，从而使其能够轻松加工大型基板。扩散室配备了高质量的预校准热电偶，对热过程提供了优越的控制。加热机设计为快速均匀加热，在所有区域提供均匀的温度分布。温度范围由室温可调至1,200 °C，最高允许温度为1,275 °C。集成冷却工具最大限度地利用了可用的冷却剂，以保持基板在一个一致的温度。冷却过程通过一个复杂的软件平台进行管理,以确保最佳性能。为了获得最高的可靠性,冷却设备配备了一系列喷嘴以实现完美的控制.此外，KOKUSAI DD-803-V还配备了气流控制模型，对惰性气体和反应性气体进行精确计量，从而实现最佳扩散性能。主控制单元为操作员提供全触摸屏界面，方便操作维护。而且，设备符合SEMI S2及其他相关安全规则，允许安全高效的流程。DD-803V专为大型半导体操作而设计，为长期使用提供快速可靠的处理。立式升降机的多功能性保证了日常操作的优越灵活性，温度范围足以满足几乎所有基板加工需求。此外，集成冷却系统提供了有效的控制，气流控制单元确保了精密计量。总而言之，这是一个适用于大规模作业的专业级扩散炉包装。