二手 KOKUSAI DD-803V #9075132 待售

KOKUSAI DD-803V
製造商
KOKUSAI
模型
DD-803V
ID: 9075132
Vertical Oxide diffusion furnace.
KOKUSAI DD-803V是为快速加工各种半导体材料而设计的先进扩散炉及配件。它是一种全自动设备设备,具有先进和方便用户的功能,可增强生产和分析能力。该系统具有自动气流控制面板和数字校准单元,可精确控制物料沉积速率和质量。这是通过精确控制扩散过程室的温度、压力和气体流速来促进的。可靠而快速的加热机使整个腔室的加工温度均可高达1100 °C。此外,KOKUSAI DD-803-V还安装了集成真空脆化源,以提高密度均匀性和地形。这确保了基板表面的均匀扩散轮廓。该扩散工具还具有自动零调整功能,可实现均匀厚度精度和过程控制过程中的精确温度测量。通过支持软件实现客户定义的配方控制,DD-803V非常精确。此高级软件提供用户友好的操作,并允许完整的数据记录和分析。此外,综合过程控制能够对各种资产参数进行实时性能监测。DD-803-V包括安全功能和基于微处理器的系统,以确保安全运行。这包括一个PID控制的加热模型,故障和报警设备,以及预前检测。最后,为了确保最大性能和安全性,系统按照国际标准构建,并包含众多顶级功能。它是一个高度可靠的扩散炉单元,旨在满足最苛刻的半导体生产环境的需求。
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