二手 KOKUSAI DD-813V-BL #293651964 待售
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KOKUSAI DD-813V-BL是专门为薄膜和集成电路热处理而设计的扩散炉及附件。该扩散炉采用高品位不锈钢制造,并与石墨加热器配合使用,可实现高温运行和退火稳定性。在5 "x 8"石墨敏感剂中,熔炉的温度可达1200˚C。拥有内置快速冷却设备和专利多区温度控制系统。DD-813V-BL炉配备了变频控制,允许精确的处理时间和温度。它采用安全门门锁装置,防止因炉门意外打开而产生的热应力。该扩散炉具有控制退火过程的计算机网络端口和可编程输入/输出机。该炉还包括由一组不锈钢环和绝缘板组成的石英管敏感器,确保低热脆性和对基板的损坏。KOKUSAI在石英管敏感器上安装了精密热电偶,以精确维持工艺室内的温度。该扩散炉具有多种工艺,具有最佳生产效果。它可以进行垂直和水平扩散,以及蒸汽和化学气相沉积。该炉设计有气毯室,以减少热量损失并确保结果的可重复性。KOKUSAI DD-813V-BL加工室易于进入和维护,操作后便于快速清理。DD-813V-BL扩散炉及附件是薄膜和集成电路热处理的理想解决方桉。其特点使其成为环境、物理和化学过程研究、开发和生产的可靠和高效的工具。该炉具有多区温度控制和石英管敏感器等广泛的特点,将提供高质量的效果和无与伦比的性能。
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