二手 KOKUSAI DD-813V #293622158 待售

KOKUSAI DD-813V是一种常用于半导体光刻应用的扩散炉及辅助设备。它具有自动温度控制功能，并提供分散的面向板的设计，提供各种板尺寸和加热速率。该系统为高温使用而建，温度范围为0至1050 °C，在不到20分钟的时间内即可达到操作温度。功率水平可由0调整至150 kW，使晶圆等相关材料能够硬、中、软退火。DD-813V的分散式设计是模块化的,可以方便地访问设备的所有部件,并且使用通用的冷却机而不是多个冷却箱。每个板段都有石英支架，包括一个标准的10mm石墨板和0.6-1mm石英板架，以及2mm和3mm石英间隔板可作为可选附件。该机设计为高效运行和最小停机时间,所有机械、电子和光学部件均经过优化,以实现最佳性能。整个工具安装在一个紧凑的、专用的机器外壳中，其设计目的是使正常运行时间最大化并保持最佳工作环境。电子控制资产和流体非接触式冷却发电机均采用远程操作，以确保易于使用和维护。所有设备都是为湿法加工和干法加工而设计的，有各种各样的工艺配方和控件可供使用。此外，还包括一个集成气体歧管，以允许外部气体输送。KOKUSAI DD-813V模型采用自动修复（AR）技术,通过在运行过程中自动再生和清除石英板来降低维护成本。水平和垂直位置传感器可确保整个板区域的均匀曝光,而内置的安全功能可提供额外的保护层。该设备还对爆炸性大气进行了评级，并进行了符合Rohs标准的测试。总体而言，DD-813V扩散炉及配件系统是一种多用途、高质量的机器，使用户能够有效地加工各种材料。其硬化石英板、军用级部件和易于使用的界面提供了极大的灵活性，最大限度地提高了生产产量，并支持了一系列工商业半导体制造和光刻应用。