二手 KOKUSAI DD-813V #293622162 待售

KOKUSAI DD-813V是一种扩散炉，一种专门为硅片的掺杂、退火和活化而设计的工艺设备。DD-813V采用了最新的创新技术，为石英和硅片的热处理提供了卓越的质量和性能。它可以用石英加热到1000 °C，或者用可选的石墨室加热到1350 °C。此外,KOKUSAI DD-813V可以方便地装入两个650 mmx4英寸晶圆和一个8英寸晶圆。它的数字控制面板和触摸屏控制系统使调节温度、监控时间和访问不同的程序变得容易。该机配备了高性能氦气或氮气流，利用高速气体扩散将气体均匀地扩散到目标上。这样可以确保高纯度玻璃蚀刻过程的均匀性和一致性。DD-813V内部装有多层表面加热器，有助于温度的设置和温度的均匀性。这与四个热解氮化硼（PBN）绝缘圆柱体结合，均匀地向样品散热。它还有助于设置高温度,同时确保加工的准确性。为确保安全运行，KOKUSAI DD-813V配备了冷箱燃气加热器保护系统。这是为了防止热量积聚，从而造成样品损坏。DD-813V还具有高性能氧化传感器，有助于监测晶圆上的薄氧化层。KOKUSAI DD-813V是一种方便、多功能的扩散炉，具有极好的精度和精确度。它设计用于石英和硅片的安全、快速和经济的热处理，是半导体制造的理想选择。因此，DD-813V是半导体材料热处理的理想选择。