二手 KOKUSAI DD-823V-8BL #9188430 待售

KOKUSAI DD-823V-8BL扩散炉是一种用于制造微电子器件的同时掺杂和退火过程的高性能设备。它具有650°C的最高温度设置，以及一个8英寸的石英管式炉室，设计用于扩散包括硅、的、铝、硼、的各种材料。该炉还配有一个内置的石英船，用于将基材转移入腔室，并配有一个额外的组件架，方便多个基材并行扩散。它还能够处理直径达8英寸、厚度达1/8英寸的样品。DD-823V-8BL炉采用全数字化设计，采用直流式SL-2000V系列温度控制器，实现精确的温度控制和均匀的温度分布。数字控制器利用一系列热电偶接头盒来测量和监测温度。为了增加均匀性,还包括一个循环风扇以实现对流传热。该炉还具有标准的安全特性，如超温极限控制、紧急关闭开关和安全灯。该扩散炉配有一个由三级旋转叶片真空泵组成的集成真空系统，以实现高真空操作和快速降低腔室气氛。该系统采用高效颗粒过滤器，设计简便。此外，炉子上还配有扩散屏蔽、扩散熔炉、背板、网眼，方便材料向腔室内部扩散。KOKUSAI DD-823V-8BL使用非接触式红外光学传感器,以确保准确的样品温度分析和与所有标准附件的兼容性。还具有直观和用户友好的设计控件,使操作和维护变得容易。炉子设计有一个靠近腔室顶部的单磁锁，便于清洗和进入。总体而言，DD-823V-8BL扩散炉是一种高精度、先进的仪器，在微电子器件的生产中具有可靠的掺杂和退火工艺。