二手 KOKUSAI DD-823V-8PL #9236896 待售

KOKUSAI DD-823V-8PL
ID: 9236896
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Furnace, 8" SMIF Process: H2 Anneal 1997 vintage.
KOKUSAI DD-823V-8PL是一个先进的扩散炉和附件集,是理想的半导体制造应用。该装置的特点是具有出色的温度均匀性的烤箱室,以及提供卓越的热循环的多段加热器。主室配有精密编程的分区热电偶和每个区域的独立加热器,具有高达1600℃的高温氧化和氮化能力。气室提供来自基板两侧的均匀气流,有多种气体溷合物用于高温掺杂和化学反应。全炉包内包括遥控面板、压力控制单元、实时监控系统和先进的安全功能。控制面板允许从远处轻松调整温度、压力、气流和其他设置。压力控制单元通过阻挡排气,准确控制气流,在烤箱室内提供准确稳定的压力。实时监测和安全特性保证了炉在峰值性能和峰值安全状态下运行。DD-823V-8PL还具有许多强大的特性和功能。自动进程序列功能允许运算符按顺序运行多个进程。炉子还具有定时开口的能力,允许门精确定时开口,避免损坏门和可能的污染。拆分视图选项使操作员能够在室外工作时查看腔室内部,从而无需在操作过程中步入腔室。KOKUSAI DD-823V-8PL是一种高度先进可靠的扩散炉,具有卓越的温度均匀性、先进的安全特性和强大的功能。这种器件是半导体制造业寻求一体炉和附件包装的理想选择。
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