二手 KOKUSAI DD-823V #9286970 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
已售出
ID: 9286970
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
System, 8"
Gas supply:
PCW Supply
Boat system
Load lock
(26) Carrier slots
System control:
Main controller: 0 x 3000
Touch screen
Front and rear gas flow
Temperature: CQ1600
Pressure: PCU 3000
Power supply: 1Φ 208V / 15A
Heater power: 3Φ 208V / 250A
Pump unit
Process gases:
Gas 1:
FC-986Y-BF N2 10 SLM
FC-986Y-BF N2 10 SLM
FC-985Y-BF N2 2 SLM
Gas 2:
FC-985CY-BF NO 1 SLM
Gas 3:
FC-986CY-BF N2O 20 SLM
Gas 4:
TC-FC986CY-BF O2 10 SLM
TC-FC985CY-BF O2 1 SLM
Gas 5:
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 200 Sccm
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 200 Sccm
Gas 6:
FC-985CY-BF HCl 500 Sccm
Gas distrubution:
FUJIKIN Standard
SUS-316L Tubing material
VCR Tubing finish
FUJIKIN Manual
FUJIKIN Air operated valve
VERIFLD Regulator
AERA MFC
Exhaust distribution:
Baratron gauge
Main valve
Pump line
(24) Cassettes
(2) Input / output ports
(5) Wafer transfers
Ceramic fork material
(5) Forks
Fork variable pitch
Elevator:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical part
Heating chamber:
TC R Type: (5) Zones
(5) Spikes T/C
(5) Overtemp protectsT/C
Door interlock
Exhaust:
Heater
Gas box
Process
Missing parts:
CKD
Therno VAC TM 22
1994 vintage.
KOKUSAI DD-823V是一种适合半导体工业广泛应用的扩散炉及配件。炉子有一个能够达到和维持最高1300℃的温度的腔室。这使得气体和各种材料能够扩散用于加工和其他应用。该炉的设计也是为了有效和高效地维持一种适合在室内进行的应用的气氛。DD-823V配备了多种控制系统。它有一个控制室内温度、气流和其他过程的宏观程序员。此外，该炉还配备了精密温度控制器，用于保持精确和可重复的温度剖面。这些控制器还提供了根据应用要求控制炉内温度升降速率的可调参数。炉的功率部分采用了先进的功率因数校正技术，允许精确控制输送到腔室的功率，进一步提高了加工精度。除了温度控制和过程控制功能外，KOKUSAI DD-823V还具有各种安全组件。其中包括过温和氧化报警器，以及防止气体在室内挥之不去的排气扇。炉子还设有一个安全门和一个紧急停止按钮，在紧急情况下关闭所有腔室电源。所有这些部件都确保炉子安全可靠，可广泛应用。DD-823V还配有一整套配件，便于使用和维护。其中包括一个温度指示器、湿度计和用于监测室内大气的压力表。该单元还包括各种阀门控制系统和石英管，允许用户预览扩散过程。最后，各种适配器和其他附件可用于将炉子连接到外部系统。KOKUSAI DD-823V是一种可靠、安全高效的扩散炉及配件，适用于半导体行业的各种加工应用。它能够达到和保持最高1300℃的温度,加上众多的安全特性和附件,使其成为满足许多加工要求的理想选择。
还没有评论