二手 KOKUSAI DD-853 #9131345 待售
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已售出
ID: 9131345
优质的: 2001
Diffusion furnace
6/2001
Bridgework
Element
1200 Heater
4 Zone
Pyro
Cx3202b controller
5 finger high speed robot
Cx3002 controller
2001 vintage.
KOKUSAI DD-853是一种高性能扩散炉,专为满足硅和复合半导体制造与开发的要求而设计。它能够对低温驱动和低温多晶硅沉积进行连续退火处理。该炉由一个高温炉膛室组成,设计时可装载多达6076根样品棒,位置可调。温度可以从25摄氏度(T-Slope control)调整到1000摄氏度,可以长时间保持,没有任何问题。该炉还设有低密度碳控制冷却设备,确保在扩散过程中对样品进行精确的温度控制和均匀的冷却。DD-853有氧气和氮气的自动控制系统,以及其他气体,例如氙气、氢气和甲烷。它配备了3步压力/温度自动控制系统,用于精确的样品扩散。此外,该设备还具有两个冷却端口和一个锁定端口,以确保正确的样品装卸。KOKUSAI DD-853随附的附件包括一个将样品装载到扩散棒上的驱动程序、一个精确监测过程的计时器以及一个真空吸尘器/净化器,以防止炉子更快地磨损。DD-853还有一个内置的安全警报机,以保护用户在任何异常操作的情况下。它配有各种传感器和指示器,包括显示器和报警按钮。内部系统旨在监测温度、压力和气体成分,以确保最佳工艺。KOKUSAI DD-853是市场上最先进的扩散炉之一,是满足任何生产和研究需求的完美解决方桉。凭借其长期的稳定性和安全性特点,以及随附的各种配件,DD-853是半导体生产开发的理想选择。
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