二手 KOKUSAI DD-853V-8BL #9028269 待售

KOKUSAI DD-853V-8BL是一种专业的扩散炉及相关配件，设计用于硅晶体外延、掺杂剂扩散、氧化，以及用于制造半导体器件的各种其他工艺。它具有一系列高级功能,旨在优化性能和最大限度地提高便利性,因此物有所值。KOKUSAI DD853V-8BL有一个高温多区炉，能够达到高达1,400°C的温度。此外，还配备了先进的冷却设备，为改进过程控制提供了优化的散热。独特的侧向喷射加热区可确保快速的区域恢复时间,可选的Mu-Chip反应装置可确保底物上的温度均匀。DD853V 8BL还配备了可选的气体输送系统。这包括一个管道单元和气体溷合器，使多种气体能够准确地输送到反应室中，从而改进了过程控制。气体输送机还确保对反应环境的直接控制，允许对温度、压力和含氧粒子压力等参数进行精确控制。DD-853V-8BL还包括一个自动晶片装载机和一个自动晶片卸载机。自动晶片装载机允许将晶片轻松装卸到反应室中，并通过使用先进的视觉工具保证定位精度。自动晶圆卸载器具有简单直观的设计，允许容易地去安装加工过的晶圆。最后，DD853V-8BL具有先进的安全功能，如门互锁资产，防止人员在高温时进入反应室，保护人员和设备免受潜在伤害。还可以启用紧急关机模型，一旦满足预定条件自动终止反应，进一步提高操作安全性。总体而言，KOKUSAI DD853V 8BL是一种最先进的扩散炉及相关配件。其先进的温度控制和气体输送系统被设计为优化性能，而其自动化的晶片装卸系统和安全特性被设计为最大限度的方便和安全。它是任何半导体制造设施的理想选择。