二手 KOKUSAI DD-853V #9133268 待售
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ID: 9133268
优质的: 1997
Vertical diffusion furnace,
Process gas: N2,H2
Temp controller: CQ1600
IO port type: 26 slot flat zone
1997 vintage.
KOKUSAI DD-853V是一个着名的扩散炉和配件设计的最严格的应用。该装置设计用于半导体工业,在扩散或沉积过程中需要控制高温。它能够处理高达1300 °C (2372 °F)的温度,并且具有极好的热均匀性,能够将工艺温度保持在± 3 °C (5 °F)。它有两种尺寸可供选择,较大的型号长度为28英寸(710毫米),ID为6英寸(150毫米),较小的型号长度为21英寸(530毫米),ID为4英寸(100毫米)。KOKUSAI DD 853V为效率和可靠性提供了丰富的功能。它有一个高品质的石英管与一个超纯石英衬里,避免污染,同时提供耐用性和气密完整性。先进的电源为精确控制热量提供了广泛的电压和电流设置,以获得一致的结果。控制器提供快速访问电源设置以及访问计时、过程模式和最多9种配方的存储。DD-853V配备了大量的安全功能。这包括过度保护和互锁功能,以防止发生危险情况。炉子内部易于清洁和维护,有一个加热区可以缩回,以便进入石英管。坚固的外壳有助于保护电子元件免受损坏,无氧加热空间有助于防止扩散室内的氧化。DD 853V是一种用于半导体加工应用的出色的扩散炉和配件。它具有处理高温和保持出色的热均匀性的能力,提供了高超的质量和可靠的性能。其广泛的电压和电流设置提供了对加热过程的精确控制,而其全面的安全特性确保了高效可靠的运行。任何用于半导体生产的设施都可以受益于KOKUSAI DD-853V扩散炉。
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