二手 KOKUSAI DJ-1223VN #293763020 待售
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ID: 293763020
晶圆大小: 12"
Diffusion furnaces, 12"
Process: SI3N4
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208 V, Single phase / 440 V, 3 Phase.
KOKUSAI DJ-1223VN是一种扩散炉,最常用于仪器再结晶、外延以及用于孔隙密封和掺杂活化。它是一种先进的设备,能够超越效率和精确度来处理与电子加工有关的各种应用。DJ-1223VN配有一套可靠的组件,如沉积室、气体扩散泵和基板冷却设备,为扩散过程提供可靠的平台。沉积室采用高品位材料设计,可承受均匀热处理所需的更高热量水平。这进一步有助于减少各个过程阶段所需的时间,从而为几个特定于应用程序的扩散运行留出足够的时间。KOKUSAI的气体扩散泵DJ-1223VN包括旋转叶片型和根型鼓风机、侧通道鼓风机、教育器型气体输送系统等各种部件。这些为用户提供了执行整个扩散过程所需的高精度、精确度和热循环。DJ-1223VN的基板冷却装置配备了高效的强制冷却风扇机,以确保不折不扣的冷却性能。此外,使用两个独立的腔室冷却系统有助于最大限度地减少热梯度,最大限度地提高基板大面积的均匀性。除上述部件外,KOKUSAI DJ-1223VN还配有包括磁感器、夹具、平面型电极、疏散装置、喷射装置、内部冷却套、控制系统等一系列配件。所有这些组件为用户提供了无与伦比的传播过程性能和灵活性。作为锦上添花,DJ-1223VN的控制工具是用户友好,可以通过触摸屏资产方便操作。总体而言,KOKUSAI DJ-1223VN是一种高度可靠和高效的扩散炉及其附件。它拥有大量的组件和附件,可为用户提供困难的应用程序特定扩散运行所需的无与伦比的准确性、灵活性和热循环。
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