二手 KOKUSAI DJ-805 #9068941 待售
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KOKUSAI DJ-805是一种扩散炉及配件,可用于半导体器件的性能最大化。其先进的热处理技术使其成为各种装置工艺的理想选择,包括热退火、层间氧化和掺杂活化。它为用户提供了一个更简单的技术和操作控制在同一个炉子多种处理,以及更高水平的可靠性和过程可重复性。与先进的气流溷合物管理系统相比,DJ-805提供了卓越的工艺一致性。该系统在整个内室中创建一个均匀的气体流速,并在恒定的处理时间内保持晶圆上的设定温度分布。它还减少了电线阻力、表面变形以及其他由氦气流动引起的误差来源。KOKUSAI DJ-805能够达到最高温度和炉容,容量大,机械操纵范围大。它最多可以处理10个晶圆。其先进的腔室设计也减少了排放,有助于优化氮化工艺。该装置还具有高性能的热循环泵,以保持温度均匀性。温度梯度的精确补偿有效地稳定了晶圆温度。它还有助于保持炉膛内的气氛。该装置配有高效、先进的热交换器和温度报警系统,确保保持最高极限温度。它还有一个紧急关停开关和一个大型液晶显示屏,方便使用。DJ-805拥有最高的质量控制,因为每个设备都经过了良好的检查和测试。设备经过三个步骤的过程,每个步骤都经过检查,以确保可靠的性能和高效的操作。KOKUSAI DJ-805非常适合需要其半导体器件可靠工艺结果的用户。该装置提供增强的工艺均匀性、均匀的气流、温度稳定性、高温范围和高效的操作,以确保高质量和高性能。它还易于操作,使其成为专业人员和实验室的最佳选择。
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