二手 KOKUSAI DJ-813 #141295 待售

KOKUSAI DJ-813是为晶圆加工应用而设计的扩散炉及配件，包括金属沉积和介电蚀刻。该炉具有多种工艺组合，加热和不加热晶圆处理，水平热壁式，最多两个工艺序列。DJ-813装有13英寸的石英管，用于扩散加热和冷却。这种管子的设计是以最小的变化达到温度均匀性.框架、温度区和功率区结构也有助于保持温度均匀，非常适合低温处理。相邻的晶圆处理器是可调的，一次最多可容纳四个晶圆。KOKUSAI DJ-813既可用于金属沉积，也可用于介电蚀刻。控制器软件旨在优化整个序列的过程条件。采用随附的模拟或数字PID控制器实现高精度温度控制。电源具有多个输出,并具有高频IGBT发生器,使其能够在低背景噪声的情况下达到更高的工艺温度。该炉还包括一个可编程计时器、门搅拌器和多个晶圆盖。盖子为加工化学品提供气密密封，防止交叉污染。门搅拌机允许精确的化学溷合，减少污染的风险。该计时器可用于多个自动启动和自动停止操作,从而减少了手动干预的需要。总体而言，DJ-813是一个高性能的扩散炉和配件套件，能够低温处理和多工艺组合。它是晶片加工应用的理想解决方桉，提供快速、精确的温度控制、均匀性和晶片处理。