二手 KOKUSAI DJ-813V #293652777 待售

KOKUSAI DJ-813V是专门为满足半导体、光伏太阳能电池等行业最先进的技术需求而设计的扩散炉及配件。这种单晶圆、低温的工艺提供的增长率是传统系统的三倍,其质量相当于行业领导者的质量。该炉配备了先进的工艺控制，实现了精确、可重复的效果。它提供模块化设计,使用户可以灵活地将自己的食谱归档到最多4个区域的4个阶段。DJ-813V有一个石英管，该石英管由安装在风冷卡盘中的两个自调节炉元件加热，使加热过程达到1350 °C。它能够精确控制扩散温度，产生精细精确的温度剖面。气体分配设备允许均匀的气体流动和均匀的反应物分布。为了保持炉子的清洁和效率，可以手动装载和卸载能够运输多个4英寸晶片的石墨船。石英管门还安装了一个可选的接近传感器，以帮助防止晶圆过于接近高温。内室还配备了报警系统，万一温度超支，将自动关闭机组。为了提高安全性，这种高性能扩散炉安装了改进的、坚固的石英管结构和PID控制，从而最大限度地减少了室内温度的变化。最后但并非最不重要的是，KOKUSAI DJ-813V配备了多种接口和通信端口，如EtherNet/IP、ModBus和USB，允许用户访问系统进行远程编程和数据记录。触摸屏控制器可以轻松浏览机器并输入配方。通过这种设置，用户可以安全地访问和控制他们的炉子无论他们在哪里，而不牺牲性能。