二手 KOKUSAI DJ-815V-8L #293623306 待售

KOKUSAI DJ-815V-8L是为半导体器件的高效加工而设计的扩散炉及配件。设备提供了一系列好处,包括提高灵活性、改进性能和节能。该炉设计有一个简单的垂直腔室，配有背面冷却系统。该设计允许快速的温度变化和有效的热分布，从而缩短加工时间。真空辅助机械化样品加载的使用减少了循环时间，提高了工艺产量。该单元的控制机器通过用户定义的配方、数据记录和直观的图形用户界面提供了灵活性。KOKUSAI DJ 815V-8L还具有自动加热和冷却功能。这样可以实现更一致的热剖面,并通过在工艺室内保持稳定的温度来最大化循环时间。该工具具有高度精确和稳定的温度控制器,可达到± 0.3 °C的精度。腔室的垂直设计也保证了热量分布均匀，不需要样品旋转。该资产还配备了工艺注气设计。该工艺气体注入使多步骤处理同时进行，减少了循环时间，提高了效率。这对于需要合金化、氧化物沉积和蚀刻等多个阶段的工艺尤其有益。DJ-815-V-8L旨在减少停机时间并降低拥有成本。该型号的设计便于维护,可实现快速、方便的维护。该炉还配备了诊断监控设备，可快速检测故障并简化维护任务。总之，DJ-815V-8L是一个精心设计的扩散炉及附件系统。它是一种灵活、高效、经济高效的高容量半导体处理解决方桉。提高的灵活性、改进的性能和节能的结合使该设备成为满足行业需求的一个有吸引力的选项。