二手 KOKUSAI DJ-815V #179734 待售

KOKUSAI DJ-815V是晶圆级电子器件预处理制造的高温扩散炉及配件。适用于氧化、扩散、驱动等多种预处理步骤。炉子一次最多可容纳8个加载的晶片，可以在整个工艺区域提供均匀的温度分布。它提供了一个大腔室，能够在加工过程中维持高达约1500 °C的温度。过程室内的大气压范围从大气压到增压到0.93MP。DJ-815V可与各种附件集成,包括脱气、气体歧管、气体溷合器、符合特定用户要求的定制制造附件,以及支持基于等离子体的绝缘工艺的小型射频发生器。为保证高温精度和均匀性，配备了坚固、强制对流的机构和高效的加热元件。该装置还设计了一个集成气体面板，并配备了高效的安全系统和一个独立的过温保护装置。KOKUSAI DJ-815V的尺寸为480mm（宽度）x 575mm（深度）x 1150mm（高度），腔室尺寸为350mm（宽度）x 450mm（深度）x 750mm（高度）。它能够产生低泄漏功率的1.2kW，通过三个独立可控的加热元件促进整个工作室的温度分布。此外，它还配备了多段热循环程序，允许用户为预处理批次的不同步骤配置不同的温度和停留时间。DJ-815V是一种可靠、多用途和高效的扩散炉,非常适合芯片制造商和相关公司,它们需要具有多种功能和安全过程控制的高温扩散炉。它坚固的结构和全面的功能使其成为涉及大量设备的复杂集成和预处理的任何过程的绝佳选择。