二手 KOKUSAI DJ-835V #293773924 待售
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ID: 293773924
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Vertical furnace, 8"
Deposition: Nitride / D-POLY
Gas box
Heater
Gas pipes
Accessories
1997 vintage.
KOKUSAI DJ-835V是一种先进的扩散炉,对半导体晶片的热处理提供精确的控制。KOKUSAI DJ由半导体行业热处理解决方桉的领先供应商KOKUSAI Semiconductor Equipment Corporation设计和制造835V旨在满足现代半导体制造设施的苛刻要求。这个最先进的熔炉配备了一系列特性和能力,使其非常适合各种扩散过程,包括氧化、退火和掺杂材料的扩散。DJ-835V的核心是其高性能加热设备,该设备由多个加热区组成,可在晶圆表面实现均匀的温度分布。这样可以确保一致和可靠的热处理,最大限度地减少材料特性和设备性能的变化。该炉还配备了精确的温度控制系统,使用户能够以精确和可重复的方式设置和维持所需的工艺温度。此控制级别对于在扩散过程中实现所需的材料特性和设备特性至关重要。DJ 835V除了具有先进的加热和温度控制能力外,还具有高容量的晶片船,可以容纳多个晶片进行批处理。这允许用户提高吞吐量和效率,使得炉适合大批量生产环境。晶片船的设计保证了晶片的最佳气流和传热,最大限度地提高了工艺的均匀性和收率。此外,该炉还配备了坚固的气体分配装置,可精确控制工艺气体的流速和溷合物,进一步加强工艺控制和可重复性。KOKUSAI DJ-835V还配备了包括多个联锁和警报器的综合安全机器,以确保安全操作,保护用户和设备免受潜在危害。该炉的设计符合严格的安全标准和规定,适合用于优先考虑工人安全和设备可靠性的半导体制造设施。KOKUSAI在提供优质可靠的热处理设备方面有着行之有效的往绩,KOKUSAI DJ 835V也不例外。除了扩散炉本身,KOKUSAI提供了一系列的配件和选项,可以定制以满足客户的特定需求。其中包括气流控制器、压力调节器以及用于过程监控的软件工具。公司还提供全面的培训和支持服务,帮助客户充分利用自己的设备,取得最佳的流程效果。总体而言,DJ-835V是一个高性能的扩散炉,为半导体晶片的精确和可靠的热处理提供了先进的能力。DJ 835V具有最先进的加热工具、温度控制功能和安全机制,非常适合半导体制造设施中的各种扩散过程。KOKUSAI对质量和创新的承诺在KOKUSAI DJ-835V的设计和性能上显而易见,使其成为寻求实现卓越工艺控制和产量的半导体制造商的宝贵工具。
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