二手 KOKUSAI DJ-835V #9309559 待售

KOKUSAI DJ-835V是一种用于生产和研发的扩散炉设备.这一高性能系统旨在满足许多行业领先的半导体器件生产商的需求。该单元由不同的部件组成，包括扩散炉和附件，用于均匀和精确的热过程。扩散炉提供1200 °C的最高温度和4区温度控制设计，以确保整个过程中热特性的精确均匀性。广泛的调整范围包括高温热扩散、高温退火和快速热退火（RTA）。用户可以选择每分钟50°C至1000°C的不同加热速率。然后将精确控制的温度保持在2°C ±的精度。KOKUSAI DJ 835V通过5,000W加热能力配备了巨大的6000。单元内内置了不同的热区大气控制系统，为不同类型的设备制造过程提供受控环境。这些包括氮气、形成气体、干氧和氢气。冷却机采用高效换热装置，在制造过程中为晶片提供快速可靠的冷却。其他工具部件包括高温、水冷电磁屏蔽、高温水冷排气系统。该炉还被设计为利用高效气体注入资产，防止颗粒、液滴和有机残留物到达加热室，从而最大限度地减少污染。该模型为过程监测和控制提供了高效的数据采集。这包括包含以太网通信接口的控制设备。用户友好的GUI允许用户轻松准确地监视流程参数。该系统还结合了配备自动晶圆对准功能的先进机器人分配单元和喷嘴真空机，以确保晶圆的精确放置。DJ-835V工具旨在提供可靠的热过程，并取得可靠和统一的结果。