二手 KOKUSAI DJ-853 #155816 待售
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ID: 155816
Diffusion oxide furnaces
N2, O2, N2O, H2, HCL Process gas
Halpox Process
1999 vintage.
KOKUSAI DJ-853是为敏感半导体器件制造应用而设计的高性能扩散炉。它能够接受直径达八英寸的晶片,工作温度范围方便,为-20°C至1200 °C。DJ-853有一个均匀的加工室,内有不透水的氧化铝衬里,并用钟形盖子密封。主动起重设备确保运动一致,加热器位置精确,保证供热配电均匀。氮和氢的饱和蒸气压很容易控制,以提供超低热原气氛。加热器可以通过手动编程操作,也可以采用可编程参数的自动模式操作。除了扩散功能外,KOKUSAI DJ-853还具有多项安全功能,可提高用户保护。加热器采用Bakelizer系统设计,该系统使用小型、低瓦数的陶瓷隔热板抑制排放,以保护用户免受高频辐射。一个大的,耐用的石英窗口可以方便地在任何时候查看工艺室。夹具和钟盖由坚固的纯铵材料构成,并配有高性能温度感应电路,以确保密封。板载电源采用动态电流调节特性,即使在线路电压波动的情况下也能保证加热稳定。DJ-853还配备了广泛的配件,以支持其扩散功能。其中包括防振动工作架和防止样品移位的固定装置;最多可支撑三个炉子的手推车安装系统;确保卸载前快速冷却的离线冷却装置;以及允许同时控制多个炉子的多炉控制机器。此外,KOKUSAI DJ-853拥有强大的软件包,具有直观的操作、数据分析和工具诊断功能,可对用户过程进行全面分析。总之,DJ-853是一种可靠的热处理工具,非常适合要求苛刻的半导体器件制造应用。它提供了卓越的扩散功能、卓越的安全功能以及全面的附件,从而提高了用户的便利性。
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