二手 KOKUSAI DJ-853 #293805539 待售

KOKUSAI DJ-853扩散炉，由KOKUSAI Electric Corporation生产，是一种全自动扩散炉，具有6英寸方室，适合生产广泛的扩散工艺。该设备的设计符合成本效益、效率和易操作性，提供高质量和可靠的结果。它具有从后侧装载的高温石墨晶片船，以及在扩散过程中维持晶片的石墨kapton支撑模块。DJ-853扩散炉装有皮带驱动的炉输送机，该输送机将晶片自动送入炉室。温度控制通过两个热电偶调节，一个在腔内，一个在室外，为硅片和石墨片船提供精确稳定的温度。另外，二次氧化系统为每个工艺提供所需的氧化水平。该单元具有单面加热能力，晶圆背面有一块1.25英寸宽的石墨加热器块可供选择。这种加热器块是可拆卸的，允许调整对准，因此在整个加热过程中达到完美的均匀性。此外，该机兼具低压（降至0.5 Torr）和高压（高达15 Torr）操作能力。为了获得最大的晶片到晶片的重复性，对工艺气体进行重力进料。为了进行监控，KOKUSAI DJ-853工具拥有先进的监控资产，其中包括用于显示流程进度和状态的12英寸液晶面板。该模型还包括一个提供实时过程数据跟踪的排气监测设备，以及一个随时确保均匀性的晶片检查系统。此外，还有一个内置的热导率监测装置，用于防止底切和确保晶圆级优化。综上所述，DJ-853扩散炉是一种用于高精度硅片扩散过程的全自动、最先进的机器。该工具包括先进的监测系统、高温石墨晶片船、精确的工艺气体输送资产和可调节的单面加热能力，以确保最大质量和准确性。成本效益高，操作方便，是广泛生产光伏器件的理想解决方桉。