二手 KOKUSAI DJ-853V-8BL #86153 待售

ID: 86153
Furnace for SI3N4.
KOKUSAI DJ-853V-8BL是一种为半导体和航空航天工业大批量生产而设计的扩散炉。其先进可靠的工程提供卓越的热均匀性和过程稳定性,使客户能够达到最大的设备产量和质量。使用大型腔室和内置旁路,用户可以最大限度地提高材料效率,同时降低能源成本并提高吞吐量。炉的可变空气控制设备允许用户调整工艺参数,以优化设备性能。KOKUSAI的氧化能力DJ853V-8BL支持操作人员和工艺灵活性,使硅、钨和铝材料得到加工,并获得一流的设备性能。其温度和晶圆宽度分别在100°C至900°C和12英寸(304mm)至200 mm之间。此外,其先进的加热器设计和均匀性控制保证了精确的温度控制和稳定性.此外,其动态压力控制和真空排气设施提供了巨大的工艺能力。在无障碍方面,DJ-853V-8BL附有流程控制和监控系统,以及一个手动遥控面板,用户可以微调参数。使用集成的用户友好界面,熔炉提供了清晰的操作说明和操作指示。该炉的供热和排气系统由优秀的加热器组成,结合先进的自动调平晶圆放置/去除装置和保证最小热损害的传递棒系统。随着无刷直流电动机装置的不断、可靠的运行,扩散炉的维护也非常容易。DJ853V-8BL符合CE标准,同时其安全措施确保操作过程中的最大安全。先进的石英玻璃门和联锁机设计,防止气体和液体泄漏。它还有一个自动卡式装载机工具,能够快速装卸基板。此外,该资产还采用了深石英管,以增加保护和高效加工。总体而言,KOKUSAI DJ-853V-8BL是一个理想的扩散炉对于那些寻找一个有效和可靠的解决他们的生产过程。其先进的工程、自动化功能和安全措施使用户能够实现高质量的流程和最佳的产量。
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