二手 KOKUSAI DJ-853V-8BL #9309570 待售

KOKUSAI DJ-853V-8BL
ID: 9309570
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Furnace, 8" High Temperature Oxide (HTO) 2004 vintage.
KOKUSAI DJ-853V-8BL是一种用于半导体制造过程的扩散炉和配件。它具有阳极氧化铝真空室和坚固的高温和高真空应用设计。这使得小分子能够从原料向底物的最佳扩散,从而形成均质涂层。它提供高达1600°C的最高工作温度,腔壁厚度为200毫米。KOKUSAI DJ853V-8BL采用电阻焊接水冷钢架密封,采用电磁快门控制设备。这样可以精确调节腔室温度和优异的温度均匀性。它还具有旋转式叶片泵和红外吸收气体分析仪的多级真空系统,以提供高效的疏散过程。为了提高操作员的安全,DJ-853V-8BL配备了一个警报装置,在发生异常温度变化时将关闭机器。此外,它还设有一个硬化矿物玻璃窗,可以在不损害真空完整性的情况下目视观察扩散过程。DJ853V-8BL可以通过用户友好的触摸面板显示器进行监督和控制。它能够存储多达500种工艺配方,并为用户提供在屏幕上控制热量和热扩散的能力。它允许用户精确控制室内的气体大气,最多支撑四种气体,最大压力为0.2 atm。KOKUSAI DJ-853V-8BL提供了各种各样的扩散和热过程,并专门为满足不同的扩散和热要求而设计。适合掺杂剂插入、热处理、快速热处理、快速退火等应用。也适用于半导体器件、平板显示基板、激光二极管、磁感应器等相关元件的制造。
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