二手 KOKUSAI DJ-853V #293596350 待售

KOKUSAI DJ-853V
製造商
KOKUSAI
模型
DJ-853V
ID: 293596350
晶圆大小: 8"
Diffusion furnace, 8".
KOKUSAI DJ-853V是一种先进的扩散炉和辅助设备,设计用于半导体制造和其他材料加工应用。它提供了一系列功能,以确保在苛刻的生产环境中可靠高效地运行,例如温度和时间控制的温度配置文件控制、计算机控制的生产管理以及远程系统监控。KOKUSAI DJ 853V具有强大而高效的直流电(DC)电阻加热单元,可在整个工作室内实现精确的温度控制和出色的温度均匀性。加热机采用高档陶瓷绝缘材料,在广泛的温度和工艺时间内提供坚固可靠的性能。还提供外部供气和供气控制的备选方桉。DJ-853V能够产生高度精确的温度剖面,控制在1°C ±以内。它提供了多达六个独立的程序,用于温度剖面和时间控制的温度剖面控制,从而在整个加热周期中实现精确的温度控制。实验室级数控温度控制器可确保对可重复加热、冷却和维护温度设置进行可靠、准确的控制。DJ 853V配备了高质量的真空泵和变流式供气工具,可实现准确一致的真空水平和气体流速。该资产还包括一个可变半径钼船模型,允许处理截然不同的晶圆尺寸,而无需切换出船只。KOKUSAI DJ-853V还提供了广泛的计算机控制的生产管理功能,如实时温度监测、过程记录、远程设备监测和分析,以及强大的配方生成和管理功能。这使它能够实时采样和分析产品数据,并根据需要对生产周期进行调整,以确保产品的最佳性能和产量。为了最大限度的安全和操作员友好操作,KOKUSAI DJ 853V配备了一系列安全功能,如自动联锁、泄漏传感器、超压传感器以及具有多级报警级别的自动关闭系统。结合坚固的结构和先进的温度控制能力以及方便的自动控制特性,DJ-853V是精密生产应用的理想扩散炉及附件系统。
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