二手 KOKUSAI DJ-853V #293648859 待售

KOKUSAI DJ-853V是一种扩散炉和辅助设备，旨在提供准确有效的半导体元件制造手段。该系统由一个主单元、一根电源电缆和一个带有触摸屏显示的控制单元组成。KOKUSAI DJ 853V有一个直径8英寸的腔室，可以处理最多5英寸的晶片。腔室由高纯度石英管构成，并用特殊的气密密封密封。这样可以确保有效的温度均匀性和快速的响应时间。该装置能够控制高达1250 °C的温度，最大加热速率为500 °C/分钟。该机还具有一个两区温度控制工具，自上而下都有独立的温度控制。该资产还具有各种工艺选项，旨在促进半导体元件的高效和准确制造。其中包括两级硫化工艺、原位加热退火工艺和低压快速热退火（RTA）工艺。硫化过程包括层分离过程和不同扩散过程。原位加热退火过程减少了组件的热预算。低压RTA工艺可用于最大限度地减少硅在加工过程中的热扩散。DJ-853V还包括各种安全功能。其中包括温度过高保护（OTP）模型、可编程安全控制器和紧急停止按钮。OTP设备监视系统温度范围,以确保安全运行。可编程安全控制器监视设备的操作参数，而紧急停止按钮则允许用户在紧急情况下快速关闭机器。DJ 853V还具有紧凑高效的设计,允许在实验室中占用较小的空间。该工具还具有广泛的可自定义功能,允许用户根据其特定的制造需求定制资产。该型号还与各种配件兼容，使其成为学术和工业环境的理想解决方桉。