二手 KOKUSAI DJ-853V #9048140 待售

KOKUSAI DJ-853V
製造商
KOKUSAI
模型
DJ-853V
ID: 9048140
SiON LPCVD furnaces Configured with DCS/NH3/N2O High temp transformer, 1200°C.
KOKUSAI DJ-853V是一个尖端的扩散炉和配件,设计用于高精度的应用,需要一致和准确的处理结果。这种先进的熔炉非常适合微电子和光电工业的应用,在那里需要对加工参数进行精确的控制。KOKUSAI DJ 853V以辐射型卤素灯为热源,发射以530 nm波长为中心的光谱。灯发出的近乎完美的光谱使炉子能够产生准确的结果,而无需补偿影响灯温度和光谱分布的固有偏移。此外,这种扩散炉使用反射器将发射的光集中到基板上,以确保高精度的过程。这种反射光使基板能够接收到确切数量的光能,从而以最小的轮廓降解为精确结果做出贡献。为确保精确的温度控制,DJ-853V还配备了一套最顶端的温度控制系统。这个系统使用热电偶和PID(比例积分导数控制器)来调节温度。热电偶测量基板的温度,同时使用PID控制器调节卤素灯的温度。此外,该扩散炉还配备了控制所有工艺参数的先进计时器。它提供准确和可靠的时间表,并允许持续的过程。此计时器还能够记忆最后使用的参数,允许用户轻松恢复之前执行的处理作业。为了保证安全和高质量的工艺,DJ 853V配备了臭氧产生保护系统,防止臭氧的形成,从而对基质产生不利影响。最后,KOKUSAI DJ-853V可以安装在排气室中,以便于集成。它还具有直观的控制面板和用户友好的操作显示器。总而言之,KOKUSAI DJ 853V是一个强大的扩散炉和配件,能够在非常高的水平提供精确的结果。它利用先进技术确保过程参数的一致性和准确性,使用户能够轻松地、自信地执行精确的过程。
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