二手 KOKUSAI DJ-853V #9205046 待售

KOKUSAI DJ-853V
製造商
KOKUSAI
模型
DJ-853V
ID: 9205046
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
LPCVD Systems, 6" 1996 vintage.
KOKUSAI DJ-853V是一种高性能扩散炉,设计用于处理半导体、金属有机化学气相沉积(MOCVD)、氧化物钝化和预扩散。它在半导体和电子应用中为高度集成电路的开发广泛使用。KOKUSAI DJ 853V是利用空气或氮气过程气氛以及真空钟的全自动扩散炉。最高处理温度为1200摄氏度,系统可加热至75个随机可编程点。它拥有最大速率为1,100 °C/min的单区控制器或最大速率为1,200 °C/min的双区控制器。DJ-853V配有三分之二的钨或铵的加热元件,并有一个由蓝宝石或石英制成的石英盖。它还配备了用于温度监测的光学高温计。为确保操作过程中的安全,DJ 853V设计有真空铃铛和可在加热和冷却阶段压下的盖子。此外,它还配备了位于前面板上的压力发射器,以控制炉子的压力。KOKUSAI DJ-853V有一系列辅助其运作的配件。它附带了一个气泡提供受控的氧气流到腔室,以及一个旋转阀门,可以调整精确的温度控制和各种气体线的范围广泛的化学品和气体。此外,该系统还可以安装石英和氧化铝磁化器,以对工件进行均匀加热。最后,可以使用探测站来监测炉子的过程.KOKUSAI DJ 853V还可以配备硬件和软件包,允许用户从远程位置操作和控制。这些软件包包括用于创建配方的软件应用程序、可编程逻辑控制器等。DJ-853V是半导体和电子工业的优秀多用途扩散炉。其高效安全的操作使其成为高集成电路开发中制造商和设计师的热门选择。凭借其可靠的系统和强大的功能,确保了所有使用它加工的产品的一流质量。
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