二手 KOKUSAI DJ-853V #9206222 待售

KOKUSAI DJ-853V
製造商
KOKUSAI
模型
DJ-853V
ID: 9206222
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
LPCVD Systems, 6" 1996 vintage.
KOKUSAI DJ-853V扩散炉是一种先进的工具,其设计目的是在进行各种半导体制造过程的同时提供精确的温度控制。该炉利用垂直和水平加热元件以及主动流量控制,在整个工作室内提供均匀分布的温度。容器上坚固的真空密封确保了高质量的操作和洁净室排放控制合规性。KOKUSAI DJ 853V扩散炉的标准温度范围为200 °C至1300 °C,特殊工艺的可选温度更高。直观的温度聚焦系统允许跨多个点快速调整温度,非常适合快速变化的合金温度。主动流控制设计允许精确的温度管理,对于各种扩散过程尤其重要。DJ-853V还具有内置的安培调节器,使用户能够控制精确控制的电流曲线的各种退火电流。通过最多四个石英管连接、最多三个退火区和两个独立的气体控制阀,DJ 853V可以轻松处理多步退火过程。KOKUSAI DJ-853V配备了高级PID控制监视器,该监视器以0.1°C的高灵敏分辨率显示当前温度,同时跟踪时间和当前值。它还具有高达500种配方的存储容量,以及USB连接和可选的以太网端口,以便于数据传输。KOKUSAI DJ 853V是现代半导体制造设备的绝佳扩散炉,具有高质量的石英管,并具有压力开关、空气冷却系统和超温保护等多种安全特性。
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