二手 KOKUSAI / HIKE DD-1223VN #9276766 待售

KOKUSAI / HIKE DD-1223VN
ID: 9276766
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Furnace, 12" Process: PYRO 2005 vintage.
KOKUSAI/HIKE DD-1223VN是为生产生产和研究领域的功能化和纯净材料而设计的扩散炉及配件。利用扩散和热加工技术,快速生产出均匀薄耐用的优质功能层。这个扩散炉由一个有微波等离子体和感应线圈供热的腔室、一个快速扩散沉积的反应腔室和一个使高温合金加工成为可能的控制系统组成。具有高压微波等离子体和感应线圈的腔室独特的盖子设计,允许快速加热,精确的温度控制,以及均匀的气体和材料分散。反应室配有一个接入口,提供真空能力,以确保消除气囊和气体扩散。反作用室也可以封闭,允许高温熔炉,或者打开一个大孔口,允许广泛的扩散过程。高压也可应用于反应室进行高温分批处理扩散。控制系统由可编程逻辑控制器(PLC)和工业操作员控制台(IOC)组成。PLC提供对过程参数的全面控制,包括洗衣机控制、等离子体功率和压力控制。IOC提供了几种流程配方,允许使用直观的图形用户界面设置快速流程序列。这种扩散炉用途广泛,使用方便.它非常适合在一系列材料上快速处理功能层。其强大的设计和深思熟虑的控制系统为用户提供了在基板表面实现均匀气体或材料沉积的能力。HIKE DD-1223VN扩散炉及配件是高精度、均匀性材料阵列上优质功能层生产的绝佳选择。它可靠、高效、经济高效。
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