二手 KOKUSAI / HIKE DD-803V-8C #293643516 待售

KOKUSAI / HIKE DD-803V-8C
ID: 293643516
Diffusion system.
KOKUSAI/HIKE DD-803V-8C是一种强大、可靠、高效的扩散炉及配套配件。本产品利用高温氮化钛(TiN)加热元件和多区控制技术,在整个腔室内提供精确的温度均匀性,使温度得到精确控制。HIKE DD-803V-8C能够实现高达1700°C的温度,实现高容量掺杂、退火和各种其他热处理。腔室中的TiN元素具有最佳的加热均匀性,具有特殊的合金特性,使腔室壁有更高质量的热流。这样可以实现正确的反向扩散,从而实现热量的均匀分布。KOKUSAI DD-803V-8C还采用一种特殊的低压/高流(LP/HF)技术,以确保准确的植入深度和均匀的薄膜质量,提高产品质量并降低工艺成本。DD-803V-8C还配备了智能隔膜压力控制装置,可用于提供操作和安全阀或纯隔离阀,从而在低压操作方面实现更高水平的控制。隔膜压力控制还具有排气阀,因此,如果在任何时候检测到问题,则可以完全关闭炉子,并通过自动关闭排气阀来停止该过程,从而避免任何危险情况。除了先进的加热技术和智能压力控制外,KOKUSAI/HIKE DD-803V-8C还采用了先进的自动填充技术,可轻松设置用于高水平掺杂、维护和薄膜质量检测较差,确保每次过程运行完美。最后,HIKE DD-803V-8C采用模块化、节省空间的设计,并配有一系列配件,包括重力托盘烤箱、射束工具发射器、双温碳化硅crucible、气柜、质量流量控制器等。它结合了KOKUSAI DD-803V-8C的许多功能和组件,是任何在扩散过程中需要高精度、可靠性和性能的应用程序的理想选择。
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