二手 KOKUSAI / HIKE DD-803V #293643498 待售
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KOKUSAI/HIKE DD-803V是一种扩散炉和附件,用于设计各种半导体器件和材料。它由一个独立的垂直腔室和一个集成的数字控制器和可靠的气体控制系统组成。HIKE DD-803V提供了一个具有高级空间均匀性的一致高温热环境,使其成为批量生产过程的理想候选者。KOKUSAI DD-803V在100至1200摄氏度的广泛温度范围内运作。它有一个凹区主门,可以安全方便地进入加热室,还有一个石英盖,为整个过程室均匀的温度和压力分布提供了高效的传热。石英盖还允许使用更多种类的可选附件,例如用于监控或高温计热控制的气体或气体/光波窗口。DD-803V还带有对流和辐射加热元件,以适应不同的过程。KOKUSAI/HIKE DD-803V的热均匀性是通过两个独立控制器和两组精密温度传感器实现的。该炉还有一个整体的低热辐射区域,确保了温度的均匀空间分布。控制温度环境通过多区数字PID控制控制台进行维护。其先进的操作系统允许用户友好的温度和气体控制,独立的程序加载,数据记录和以太网接口。HIKE DD-803V用途广泛,非常适合应用扩散、氧化和退火工艺.它配有一个内置的质量流控制器(MFC),能够精确控制各种惰性、还原和反应性气体,如氧化剂、氮、氙和氢。具有可切换连接的歧管可以同时使用多达四种气体,由压力或流量以离散步骤控制。KOKUSAI DD-803V为各种应用,包括沉积、加工和冶金实验室实验,以可承受的价格提供可靠、方便用户的技术。它旨在为涂层、热处理和扩散作业提供一个最佳和精确的化学气相沉积(CVD)环境。高效的扩散加热系统是半导体器件制造、化学气和外延沉积的理想选择。
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