二手 KOKUSAI / HIKE DD-803V #293643501 待售

KOKUSAI/HIKE DD-803V扩散炉及配件是一种高科技炉，经过设计，提供精确的温度控制和先进的特点。它设计用于半导体、MEMS和其他相关工艺中使用的材料的纯化和沉积。该炉非常适合PECVD和ALD工艺的应用以及掺杂剂的扩散。HIKE DD-803V有三个不同的精确温度控制区，包括温度范围、气体流量和每个区域的流量方向控制。这允许用户模拟原位条件，而无需单独的高温和低温过程。它还带有一个单独的冷却区,允许过程后快速冷却。该炉具有高达2000 °C的强大加热元件，允许在同一运行中使用具有特定成分的超薄层和层。它还附带了一个全流量的气体过程，通过炉底循环进入加工室，从而实现了均匀的温度控制。KOKUSAI DD-803V还配备了数字可编程逻辑控制器（PLC）和RS485通信，使用户可以轻松地对不同的进程进行编程，并对系统进行调整。它具有自动诊断功能,用户无需打开炉子即可从计算机或移动设备检查系统状态。除了高级功能外，DD-803V还包括各种安全功能，以便在过程中完全安全。它带有过热保护和警报系统,用于在温度超过预设范围时向用户发出警报。它还带有紧急停止控制、紧急关闭和自动安全阀。KOKUSAI/HIKE DD-803V扩散炉及配件为用户提供可靠、精确和安全的工艺环境。利用它的可编程逻辑控制器，先进的安全特性和温度范围，用户可以保证每一次的质量结果。