二手 KOKUSAI / HIKE Vertex DD-803V #293592871 待售

KOKUSAI/HIKE Vertex DD-803V是一种工业级扩散炉及相关配件。该DD-803V专门设计用于半导体工业，用于器件制造过程中外延层的形成和晶片的热氧化。它非常适合快速热退火和快速冷却。该DD-803V设计用于工艺的可重复性和可靠性,最高工作温度为1,400 °C,快速冷却速度为-5 °C至+150 °C/秒。集成扩散加热元件采用氮化硼（BN）水泥陶瓷护套与钨热元件。这种组合提供了极佳的热均匀性、快速的加热和冷却速率，以及改进的晶圆工艺均匀性。该炉采用不锈钢材料建造，并配有绝缘设备以提供最高温度稳定性。真空室由316/304级不锈钢构成，带有可选的热解氮化硼（PBN）衬里，用于减少颗粒物污染。该DD-803V配备了过程控制计算机和人机界面（HMI）来管理和监控过程。这种最先进的系统具有室内温度和压力的监测功能，以及台站工艺单元的数据。HMI包括一系列防护性联锁装置，以防止操作失误、操作状况异常和高温。该DD-803V还包括排气机、手柄载荷箱、工艺载荷盒、石英船和预充裕工艺设备等多种辅助物品。整个工具是为易于使用和维护而设计的。总体而言,HIKE Vertex DD-803V资产可以实现设备制造的准确和可重复的过程。该DD-803V具有可互换的模型体系结构和先进的工艺控制，非常适合半导体器件的先进制造。